紧凑型半导体设备加热模块｜高精度温控与可靠热管理解决方案

2025年12月23日

紧凑型半导体设备加热模块（Compact Semiconductor Equipment Heating Module） 是一种高度集成的热控制单元，专为半导体制造设备提供 高精度、高稳定性和高能效的加热能力而设计。 该模块可为工艺腔体、流体管路、晶圆、...